计量型扫描电镜及测量不确定度分析

• 作者: 卢荣胜 施玉书 李伟 李琪 缪琦 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 扫描电子显微镜 微纳几何结构 不确定度 可溯源
• 年，卷（期）: 2014,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 3398字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.011

摘要

扫描电子显微镜(SEM)作为一种有效的显微结构测量工具,可以对各种材料进行表面的观察与分析.尤其是对100 nm以下的微纳几何结构的测量中,SEM成为了主要的测量工具之一.为实现SEM的量值校准与溯源,研制了计量型SEM.装置采用样品台扫描的方式得到样板二维结构,利用激光干涉仪将测量值直接溯源到激光波长.实现了纳米尺度的结构测量,并溯源到米定义国家基准.该仪器对用于校准扫描电镜的标准样板进行测量和不确定度评估,对栅格测量的不确定度优于20 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	卢荣胜		85	767	17.0	22.0
3	李伟		27	92	5.0	8.0
4	施玉书		35	121	5.0	8.0
5	李琪		21	48	4.0	5.0
6	缪琦		2	3	1.0	1.0