MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展

• 作者: 张秋禹 阎鑫
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 铱涂层 高温 抗氧化
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-3,9
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 字数: 3598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2003.02.001

摘要

主要概述了用MOCVD法制备金属铱涂层的原理以及工艺参数对制备涂层的影响,并对铱做保护层的铱/铼喷管的寿命进行了预测.指出MOCVD法制备铱涂层的关键问题是沉积前驱体的选择、沉积工艺参数的优化,并对MOCVD法制备铱涂层的最新研究进展作了评述,指出了今后的研究发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张秋禹	西北工业大学化学工程系	211	2476	26.0	40.0
2	阎鑫	西北工业大学化学工程系	17	515	11.0	17.0