低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作

• 作者: 刘彩霞 孙东明 张歆东 张龙 潘建旋 纪平 董玮 贾翠萍 阮圣平 陈维友
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关,微反射镜 静电驱动,倾斜下电极
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TN92
• 字数: 2210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2003.07.010

摘要

利用(100)硅片和偏2.5°的(111)硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型2×2光开关.微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在(100)硅片上制作的,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准,反射镜与光轴垂直度较好.在偏2.5°的(111)硅片上制作倾斜下电极结构,实验测得的pull-in电压为13.2V,几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.采用准直光纤耦合,开关的插入损耗小于1.4dB,串话小于-50dB.