MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作

• 作者: 刘彩霞 孙东明 张歆东 徐宝琨 潘建旋 王立军 董玮 贾翠萍 陈维友
• 来源期刊: 高技术通讯
• 关键词: 光开关,(110)硅片,微反射镜
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 字数: 1867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2005.03.011

摘要

通过各向异性湿法腐蚀工艺利用(110)硅片制作了8×8阵列光开关的微反射镜阵列,反射镜面为{111}面,表面粗糙度低于10nm, 垂直度好于用同样的方法在(100)硅片上制作的反射镜.