高真空光刻样品CCD显微观察装置

• 作者: 李展 陈元培 陈旭南 陈献忠 高洪涛
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 原子光刻 CCD 显微系统 柯拉照明
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器及装置
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 1886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2003.04.015

摘要

介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD显微观察装置,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息.与传统装置相比,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈元培	中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
2	陈旭南	中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	李展	中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	高洪涛	中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	陈献忠	中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0