掩模光栅微形变控制方法的研究

• 作者: 李连进 王惠斌
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 掩模 X射线 形变 压力
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2294字
• 语种: 中文

摘要

为消除用X射线光刻机加工芯片时,光栅变形对图形特征尺寸的影响,提出了用外力控制掩模光栅微小变形方法.用理论分析和有限元计算相结合的方法分析掩模光栅在外力作用下的微小变形及其误差,并对实际结构模型进行实验验证,得到了满足使用要求的最佳设计参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李连进	天津理工学院机械工程系	16	107	6.0	9.0
3	王惠斌	天津钢管有限责任公司钢管研究所	18	95	6.0	9.0