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控制掩模光栅微形变的方法
控制掩模光栅微形变的方法
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摘要：
提出了用外力控制掩模光栅微小变形方法.用理论分析和有限元计算相结合的方法分析在外力作用下的掩模光栅微小变形及其误差,并对实际结构模型进行实验验证,选定最佳的设计方案和参数.
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文献信息
| 篇名 | 控制掩模光栅微形变的方法 | ||
| 来源期刊 | 西安电子科技大学学报(自然科学版) | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 掩模 X射线 形变 压力 | ||
| 年，卷（期） | 2003,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 695-698 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TH405 |
| 字数 | 2518字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1001-2400.2003.05.028 | ||
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研究主题发展历程
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X射线
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期刊影响力
西安电子科技大学学报(自然科学版)
主办单位：
西安电子科技大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1001-2400
CN：
61-1076/TN
开本：
出版地：
西安市太白南路2号349信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
chi
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4652
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