超精密磁悬浮工作台的一种低功耗磁悬浮设计

• 作者: 丁玉成 卢秉恒 李黎川
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 电磁铁 精密工作台 精密运动控制
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 45-50,56
• 页数: 7页
• 分类号: TP27
• 字数: 4321字
• 语种: 中文

摘要

超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计,将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等.针对这些性能上的要求,给出了一种三磁极电磁铁及相应的磁悬浮设计,并结合常规双磁极电磁铁的情况,对性能进行了分析和比较.相比之下,该设计可使静态功耗(或发热量)降低50%,具有更合理的空间结构.只需要两个这样的电磁铁便可以实现工作台的磁悬浮(采用双磁极电磁铁则通常需要四个).最后通过一个应用实例及实验结果,验证了.该设计的正确性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械工程学院	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械工程学院	128	1941	23.0	39.0
3	李黎川	西安交通大学电气工程学院	20	305	11.0	17.0