新型磁悬浮精密定位平台的研究

• 作者: 姜歌东 张东升 梅雪松 郝晓红 陶涛
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 磁悬浮 精密定位平台 稳定性
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 页码范围: 937-940
• 页数: 4页
• 分类号: TH113
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2005.09.007

摘要

针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台.该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永磁体做动子,悬浮部分与驱动部分相互独立,从而很好地解决了由电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单元之间的相互耦合问题.采用罗仑兹定律,分析了永磁体长度、线圈电流和悬浮位移对悬浮稳定性的影响,确定了平台的悬浮平衡位置,建立了平台在平衡位置附近的悬浮数学模型,并进行了动态响应仿真研究.研究结果表明,该磁悬浮精密定位平台在悬浮电流为2 A、悬浮高度为0.5 mm时可以稳定悬浮,因此可应用于需要超精密定位和超洁净环境的半导体光刻装置中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梅雪松	西安交通大学机械工程学院	146	1489	22.0	28.0
5	姜歌东	西安交通大学机械工程学院	45	516	15.0	21.0
6	陶涛	西安交通大学机械工程学院	52	591	15.0	22.0
7	张东升	西安交通大学机械工程学院	48	458	13.0	20.0
8	郝晓红	西安交通大学机械工程学院	5	67	3.0	5.0