原子力显微镜(AFM)在光盘检测及其质量控制中的应用

• 作者: 景蔚萱 蒋庄德
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 光盘 模板 凹坑 凸台 抖晃
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 368-373
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.04.011

摘要

综述了原子力显微镜(AFM)在光盘质量检测中的应用.AFM能够在nm尺度上直接对光盘及其模板上的信息位几何结构的特征尺寸及其误差进行三维测量,从而可以建立生产工艺参数和信息位几何结构之间、信息位几何结构和盘片电气性能之间的关系,进而找出影响光盘质量的直接原因.用AFM进行光盘质量检测主要有三方面：盘片和模板表面的定性观测;信息位几何结构的半定量分析;信息位特征尺寸的统计分析.定性观测和半定量分析可以对盘片播放的高误差率、凹坑形态和块出错率、凸台形态及其表面粗糙度等参数进行有针对性的检测;而信息位特征尺寸的统计分析则可以对信息位几何结构的关键参数进行面向生产过程的统计分析.所得结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	景蔚萱	西安交通大学精密工程研究所	17	72	5.0	7.0