微机电系统纳米摩擦学研究进展

• 来源期刊: 合成润滑材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机电系统 纳米摩擦学 固体薄膜 超薄膜润滑
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 33-39
• 页数: 7页
• 分类号: TH117.1
• 语种: 中文

摘要

随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一.微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用,因此研究MEMS的微观摩擦学性能至关重要.综述了近年来国内外MEMS摩擦学研究的新进展,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,包括环境条件、材料处理、表面改性、分子薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,提出了当前相关研究的几个重要问题.