硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制

• 作者: 曾明刚 林爱清 王水菊 蔡加法 邓彩玲 陈松岩 陈谋智
• 来源期刊: 厦门大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅衬底 硫化锌薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 723-726
• 页数: 4页
• 分类号: O472.8|O484.3
• 字数: 1888字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2003.06.010

摘要

用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线,硅衬底硫化锌发光薄膜器件可与硅器件工艺兼容.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡加法	厦门大学物理学系	27	107	6.0	8.0
2	邓彩玲	厦门大学物理学系	9	49	3.0	7.0
3	陈松岩	厦门大学物理学系	68	248	8.0	12.0
4	王水菊	厦门大学分析和测试中心	21	199	9.0	13.0
5	陈谋智	厦门大学物理学系	12	82	6.0	9.0
6	曾明刚	厦门大学物理学系	4	44	2.0	4.0
7	林爱清	厦门大学物理学系	9	50	3.0	7.0