WLR测试技术--一种正被广泛采用的可靠性测试技术

• 作者: 徐政 郑若成
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: WLR 可靠性 测试结构 应力 自加热
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 器件与制造
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TN306
• 字数: 5869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2003.04.014

摘要

传统的可靠性测试是后道进行的,它是对整个电路芯片进行老炼加速实验,这种方法费时费力,并且不能为工艺提供及时的指导,因此它使新工艺的开发周期延长.随着器件尺寸不断变小,出现了许多新的可靠性问题,器件的可靠性变得越来越重要.采用WLR测试能够减少可靠性的测试时间,缩短工艺开发周期,抢占新品上市时间.因此,这种测试方法越来越得到广泛的应用,本文讨论WLR测试的几个方面以及提供一些测试算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑若成		20	44	4.0	5.0
2	徐政		14	17	3.0	3.0