压电线性马达与纳米马达

• 作者: 万永中 段智勇 王庆康 费继承
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电线性马达 纳米马达 驱动器
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 295-298
• 页数: 4页
• 分类号: TM153
• 字数: 3156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2003.04.010

摘要

国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了,并已有较为成熟的应用.它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动,主要特征是能够提供较大的横向输出力,同时,又可能实现超高精度和小位移--毫米级的位移行程和原子级的精度.一般用空载速度、最大推进力、效率及其他一些参数来表征压电线性马达.该文首先介绍几种类型的压电线性马达,包括它们的结构、运行原理和特性等,然后再介绍纳米马达.应该指出,纳米马达是压电线性马达的发展,其特点是能够实现纳米级精度的位移,国外已经在精密仪器、航天航空、自动控制、办公自动化、微型机械系统、微装配、纳米定位等领域得到了实际应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段智勇	上海交通大学微纳米院微电子所	3	29	2.0	3.0
2	费继承	上海交通大学微纳米院微电子所	1	12	1.0	1.0
3	王庆康	上海交通大学微纳米院微电子所	23	153	7.0	12.0
4	万永中	上海交通大学微纳米院微电子所	9	70	5.0	8.0