微区电阻测试方法及新测试仪研制

• 作者: 刘新福 孙以材 张艳辉 王静
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 微区薄层电阻 改进范德堡法 四探针测试技术 Mapping技术
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 55-57
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2003.09.014

摘要

文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法,并研制出新型四探针测试样机.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学微电子研究所	39	354	9.0	17.0
3	王静	河北工业大学微电子研究所	42	144	8.0	11.0
4	张艳辉	河北工业大学微电子研究所	8	48	3.0	6.0