微机械惯性传感器的技术现状及展望

• 作者: 刘危 李圣怡 解旭辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 惯性传感器 加速度计 陀螺
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 425-431
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 5293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.05.001

摘要

对微机械惯性传感器-微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述.根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述.这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究.最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡		5	254	5.0	5.0
2	刘危		2	65	2.0	2.0
3	解旭辉		2	65	2.0	2.0