关于微机电系统研究

• 作者: 温诗铸
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微机电系统 背景 特征 关键问题
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 学科发展
• 页码范围: 159-163
• 页数: 5页
• 分类号: TH-39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.02.021

摘要

微机电系统是面向21世纪的新科技.由于目前尚处于开创时期,人们对它还缺乏统一的全面认识.试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析.在此基础上,提出和论述了未来发展中的几个关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温诗铸		156	3364	28.0	50.0