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Precision nanometrology of a large area microstructured metrology surface
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期刊影响力
光学精密工程
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-924X
CN：
22-1198/TH
开本：
大16开
出版地：
长春市东南湖大路3888号
邮发代号：
12-166
创刊时间：
1959
语种：
chi
出版文献量（篇）
6867
总下载数（次）
10
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