直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究

• 作者: 何琪 张连珠
• 来源期刊: 吉林大学学报(理学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮直流辉光放电 蒙特卡罗模拟方法 氮原子离子 离解碰撞
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: O461.2
• 字数: 1977字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2003.01.013

摘要

采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型, 模拟研究了 e-+ N2N++N+2e和N+2+N2 N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布. 结果表明, 两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生率均随气压和电压的增加而增大, 随放电气体温度的升高而降低; 但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近. 在电压较高时, 阴极处的N+主要由N+2-N2离解过程产生; 在电压较低时, N+2-N2离解过程可忽略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何琪	河北师范大学物理系	20	152	5.0	12.0
2	张连珠	河北师范大学物理系	25	66	4.0	7.0