用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数

• 作者: 刘细成 廖清君 王植恒 赖成军
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 透射光谱 模拟退火 薄膜 光学常数
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 94-96,112
• 页数: 4页
• 分类号: O484.32
• 字数: 2934字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.02.004

摘要

提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图.为了验证此方法的准确性和可行性,先进行了计算模拟,然后对SiNx薄膜进行了测量.模拟结果与理论值非常接近,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好.此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王植恒	四川大学物理学院	28	285	10.0	16.0
2	刘细成	四川大学物理学院	6	105	5.0	6.0
3	廖清君	四川大学物理学院	2	60	2.0	2.0
4	赖成军	四川大学物理学院	3	60	2.0	3.0