基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数

• 作者: 刘磊 张立超 朱宏力 金伟华 金春水
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝薄膜 光学常数 椭偏光谱 遗传算法 单纯形法
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1582-1588
• 页数: 7页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.09.004

摘要

提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法.与传统的原位测量方法相比,这种方法简便,不需要连接到真空室的复杂测量设备上.该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标,考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影响,在混合优化算法的基础上,使用基于色散关系的多波长法拟合确定金属铝薄膜从紫外到可见区(200～800nm)的光学常数;优化算法采用多种群并行遗传算法和单纯形法相结合的方式,提高了拟合质量和速度,得到了理想的结果,光谱曲线拟合误差＜2%.在确定了铝光学常数的基础上,镀制了单腔紫外诱导透射滤光片,测量的透过率光谱与设计结果在265nm处的峰值透过率偏差＜1%.