基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算

• 作者: 侯典心 宋福印 路远
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 VO2薄膜 全光谱拟合 单纯形法 Cauchy色散模型
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 243-249
• 页数: 7页
• 分类号: TB321
• 字数: 3915字
• 语种: 中文

摘要

为实现对VO2薄膜光学常数的测量,本文在全光谱拟合法的基础上,首先利用导纳矩阵法推导出透射率T与薄膜厚度d、折射率n以及消光系数k的函数关系,然后利用单纯形法得到其优化函数.最后采用Matlab编程方法对低温态、高温态VO2薄膜的红外透射率进行了全光谱拟合,得到折射率和消光系数等VO2薄膜光学常数的拟合曲线.结果表明:拟合曲线与已有研究结果及实测曲线基本吻合.采用全光谱拟合方法得到的光学常数能较准确的对VO2薄膜进行描述,为最佳膜厚设计提供了依据.此外,为更简便地描述VO2薄膜的光学常数,本文还引入了Cauchy色散模型方程,对全光谱拟合方法得到的中远红外波段(2.5~15μm)的光学常数结果进行了拟合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路远		34	257	10.0	15.0
7	侯典心		3	5	2.0	2.0
19	宋福印		2	2	1.0	1.0