VO2/FTO复合热致变色薄膜的制备及其光学特性

• 作者: 丁杰 严梦 佟国香 方宝英 李毅 梁倩 王晓华 王锋 覃源
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: VO2 FTO 复合薄膜 热致变色 光学特性
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 143-148
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4081字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2014.00143

摘要

在掺氟的SnO2(FrO)导电玻璃衬底上采用直流磁控溅射的方法室温沉积纯钒金属薄膜,再在退火炉中经后退火工艺制备VO2/FTO复合热致变色薄膜,并对复合薄膜的结构及其光学特性进行研究.结果表明,导电玻璃上的FTO并没有改变VO2择优取向生长,但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征.与相同工艺条件下在玻璃衬底上制备的VO2薄膜相比,VO2/FTO复合薄膜的相变温度降低约18℃,热滞回线温宽收窄约4 ℃,相变前后的红外透过率分别约为42％和21％.说明复合薄膜既可明显降低相变温度和热滞宽度,又可增强VO2薄膜的红外调控能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李毅		33	114	6.0	9.0
3	王晓华		18	50	4.0	7.0
5	佟国香		34	112	6.0	9.0
6	方宝英		17	25	4.0	4.0
11	梁倩		6	4	1.0	2.0
12	严梦		5	4	1.0	2.0
13	丁杰		5	4	1.0	2.0
14	王锋		11	6	2.0	2.0
15	覃源		5	4	1.0	2.0