超声波电机驱动的精密位移机构

• 作者: 刘宏 张日升 李尚政 陈东生
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波电机 精密位移机构 驱动结构 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 187-188
• 页数: 2页
• 分类号: TM35

摘要

精密位移机构既是重要的运动执行元件，也是对工艺系统误差进行动态、静态补偿的元件。目前常见的精密位移机构一般利用弹性变形、机械传动、电磁力和压电陶瓷、电致伸缩和磁致伸缩等方式实现，这些方法都难以同时具有高频响、大行程、高精度的特点，有的还需中间的传动机构，结构复杂，精度难以提高，存在电磁干扰等问题。