Si对Ti-Ni合金马氏体转变的影响

• 作者: 杨华斌 黄金昌
• 来源期刊: 稀有金属快报
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 分析·检测
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

TiNi合金薄膜具有大的可变形量和强的形状记忆恢复力,是目前微型驱动器的候选材料.在TiNi合金溅射薄膜结晶化退火时(高于600℃),TiNi薄膜和Si载体的界面,将发生元素的互扩散,导致TiNi合金薄膜成分改变,并影响合金薄膜的强度及其形状记忆效应.为此,中国国立台湾材料科学与工程研究所开展了Ti(51)Ni(47)Si2形状记忆合金的研究.……