提高氧化物介质膜层损伤阈值的研究

• 作者: 刘强 唐方元 林理彬 甘荣兵 蒋晓东 黄祖鑫
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜物理学 损伤阈值 清洗 镀膜
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 637-641
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2003.07.015

摘要

采用新清洗工艺对 K9玻璃基片进行了清洗,镀制了多种氧化物介质膜,镀膜后的膜层损伤阈值比一般清洗要高出一倍多.用等离子体光法和相衬显微镜观察法相结合来判断损伤,分别用1-on-1测试法和R-on-1测试法确定了膜层的激光损伤阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林理彬	四川大学物理系	90	605	13.0	20.0
2	刘强	四川大学物理系	66	449	13.0	19.0
3	甘荣兵	四川大学物理系	10	117	6.0	10.0
4	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	47	476	14.0	19.0
5	黄祖鑫	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	135	7.0	11.0
6	唐方元	四川大学物理系	4	69	4.0	4.0