提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 徐向东 洪义麟 盛斌 邱克强 陈上碧
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 多层介质膜光栅 HPM溶液 激光诱导损伤阈值
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2631-2636
• 页数: 6页
• 分类号: TH744
• 字数: 2333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122411.2631

摘要

采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究.用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化.实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟化合物；再经HPM溶液清洗,反应离子束刻蚀和氧等离子体处理过程产生的金属污染物被进一步去除.经过上述清洗工艺处理后,光栅一级衍射效率仍保持在95％以上,光栅表面激光诱导损伤阈值达到1.6 J/cm2(1053 nm,10 ps).实验结果说明了氧等离子体和HPM溶液相结合能有效清洗多层介质膜脉宽压缩光栅,并显著提高光栅损伤阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
4	陈上碧	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	8	2.0	2.0
5	盛斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	56	5.0	7.0
6	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0
7	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
8	付绍军		3	10	2.0	3.0