HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 徐向东 洪义麟 盛斌 邱克强 陈上碧
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 多层介质膜脉宽压缩光栅 污染物 Piranha溶液 扫描电子显微镜 X射线光电子能谱
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2106-2110
• 分类号: TH745
• 字数: 3007字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112308.2106

摘要

为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金属氟化物.对Piranha溶液的清洗温度、组成成分、清洗时间、清洗遍数等参数进行了系统研究,用扫描电子显微镜(SEM)观察清洗前后的PCG表面形貌,用X射线光电子能谱仪(XPS)检测清洗前后PCG表面的元素成分及其原子分数的变化,并分析了各残留污染物的去除机理.实验结果表明:Piranha溶液能有效去除PCG表面污染物,而且清洗温度越高,清洗遍数越多,对PCG表面残留污染物的去除效果越显著.在90℃下60 min有效活性时间内,使用浓硫酸和双氧水体积比为2:1的Piranha溶液清洗3遍以上,PCG表面残留的F元素的原子分数接近0.1％(XPS的分辨极限),达到良好的清洗效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
4	陈上碧	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	8	2.0	2.0
5	盛斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	56	5.0	7.0
6	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0
7	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
8	付绍军		3	10	2.0	3.0