化学法制备的HfO2薄膜的激光损伤阈值研究

• 作者: 刘春泽 吴广明 吴晓骀 林雪晶 沈军 罗爱云 谢志勇
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: HfO2薄膜 热处理 紫外辐照 HfO2-Al2O3复合薄膜 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 403-407
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3697字
• 语种: 中文

摘要

采用化学法制备了HfO2介质膜,研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响.采用红外光谱(FTIR)和X射线衍射仪对薄膜进行了表征,并用输出波长为1.064 μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值.实验结果表明:采用150 ℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值,所获得的薄膜的激光损伤阈值高达42.32 J/cm2,比热处理前的激光损伤阈值提高了82%;无机材料Al2O3的适量添加能够提高薄膜的激光损伤阈值,其中HfO2与Al2O3的最佳质量配比约为95∶5;另外,对薄膜进行适当的紫外辐照也可改善HfO2 薄膜以及HfO2-Al2O3复合薄膜的抗激光损伤性能.紫外辐照对提高HfO2-Al2O3复合薄膜的激光损伤阈值效果尤为显著,辐照40 min后的激光损伤阈值达到44.33 J/cm2,比紫外辐照前的激光损伤阈值提高了90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
2	吴广明	同济大学波耳固体物理研究所	118	1607	22.0	32.0
3	罗爱云	同济大学波耳固体物理研究所	10	111	7.0	10.0
4	林雪晶	同济大学波耳固体物理研究所	4	59	3.0	4.0
5	谢志勇	同济大学波耳固体物理研究所	10	118	7.0	10.0
6	吴晓骀	同济大学波耳固体物理研究所	1	16	1.0	1.0
7	刘春泽	同济大学波耳固体物理研究所	7	58	4.0	7.0