制备工艺对HfO2薄膜抗激光损伤能力的影响

• 作者: 柴林 邱服民 顾元元 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: HfO2薄膜 表面粗糙度 激光损伤
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TN244
• 字数: 1841字
• 语种: 中文

摘要

采用反应蒸镀法镀制了单层HfO2薄膜，观察了薄膜表面主要的微结构缺陷，研究了基片清洗工艺对薄膜损伤阈值的影响。测量了薄膜沉积前后表面粗糙度变化。结果表明：沉积工艺可以改变粗糙度，并对薄膜抗激光损伤能力有较大的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱服民		12	85	5.0	9.0
2	马平		54	355	11.0	15.0
3	顾元元		5	205	5.0	5.0
4	柴林		4	129	4.0	4.0