HfO2单层膜的吸收和激光损伤阈值测试

• 作者: 刘晓凤 单永光 周明 李大伟 李淑红 范正修 贺洪波 赵元安
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 弱吸收 激光损伤阈值 均匀性
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 2596-2598
• 分类号: O484.4
• 字数: 1710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102211.2596

摘要

薄膜吸收是降低膜层激光损伤阈值的重要原因,为了研究薄膜吸收对激光损伤阈值的影响,对HfO2单层膜在1 064 nm处的吸收及其在不同波长激光辐照下的损伤阈值进行了测试和分析.研究结果表明:薄膜的激光损伤阈值由薄膜吸收平均值(决定于薄膜中缺陷的种类和数量)和吸收均匀性(决定于薄膜中缺陷的分布)共同决定;根据HfO2单层膜在1 064 nm波长处的吸收值,不但可以定性判断薄膜在1 064 nm波长,而且还可以判断在其它波长激光辐照下的抗激光损伤能力.