SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜激光损伤的影响

• 作者: 付雄鹰 曾勋 胡建平 邱服民
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: SiO2半波覆盖层 激光损伤阈值 损伤图貌 高反射膜
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 137-141
• 页数: 5页
• 分类号: TN244|TN246
• 字数: 2076字
• 语种: 中文

摘要

研究了SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜1064nm激光损伤的影响，分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出, 对于单脉冲（1-ON-1）激光损伤，SiO2半波覆盖层能提高HfO2/SiO2高反射膜的激光损伤阈值；可显著降低激光损伤程度，减小灾难性损伤发生的概率；可大幅度提高HfO2/SiO2高反射膜的抗激光损伤能力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡建平		22	276	10.0	16.0
2	付雄鹰		6	95	3.0	6.0
3	邱服民		12	85	5.0	9.0
4	曾勋		1	19	1.0	1.0