高衍射效率金属介质膜光栅的设计及性能分析

• 作者: 云茂金 孔伟金 孙欣 席思星 张文飞 梁健 王书浩
• 来源期刊: 青岛大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属介质模光栅 耦合波 衍射效率 超短激光脉冲
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 41-45
• 分类号: O436
• 字数: 2211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1037.2010.04.010

摘要

基于严格耦合波理论,分析了金属介质膜光栅的衍射性能,以-1级衍射效率为评价函数,研究了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的金属介质膜光栅,获得衍射效率优于99%的结构参数.数值计算表明,当顶层光栅结构为HfO2和SiO2的槽深分别为80 nm和225 nm时,在1 053 nm处获得接近100%的衍射效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	云茂金	青岛大学物理科学学院	35	154	8.0	11.0
2	孙欣	青岛大学物理科学学院	43	118	5.0	8.0
3	孔伟金	青岛大学物理科学学院	34	112	7.0	9.0
4	梁健	青岛大学物理科学学院	4	21	3.0	4.0
5	席思星	青岛大学物理科学学院	5	25	3.0	5.0
6	张文飞	青岛大学物理科学学院	9	43	4.0	6.0
7	王书浩	青岛大学物理科学学院	6	25	3.0	5.0