飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计

• 作者: 刘世杰 孔伟金 沈健 沈自才 范正修 邵建达
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 脉宽压缩光栅 多层介质膜
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 1143-1147
• 页数: 5页
• 分类号: O371
• 字数: 2842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.03.023

摘要

以薄膜光学的干涉理论和衍射光学的傅里叶模式理论为基础,给出了0.8μm飞秒激光器用多层介质膜脉宽压缩光栅的理论设计;设计采用H3L(HL)^9H0.5L2.4H的多层介质膜为基底,当刻蚀后表面浮雕结构的占宽比为0.35,线密度为1480线/mm,槽深为0.2μm,顶层HfO2的剩余厚度为0.15μm时,对于Littrow角度(36.7°)和TE波模式入射的衍射光栅其-1级衍射效率达到95%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	沈健	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	113	8.0	10.0
4	孔伟金	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	74	5.0	8.0
8	沈自才	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	140	8.0	11.0
9	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	104	5.0	9.0