用特征多项式构造相移干涉相位提取算式

• 作者: 徐毓娴 惠梅 李庆祥 牛憨笨 王东生
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 特征多项式 相移干涉术 相位提取算式 傅里叶分析
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 874-878
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2003.07.022

摘要

用相移干涉术测量物体表面形貌时,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值,甚至会产生形貌失真的现象.采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式.经实验验证,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra值,重复测量精度达5倍以上,使测量结果更接近实际值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王东生	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	34	467	12.0	20.0
2	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	84	2180	20.0	45.0
3	徐毓娴	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	21	417	10.0	20.0
4	惠梅	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	6	217	6.0	6.0
5	牛憨笨	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0