论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 科学技术研究成果公报期刊 \
等离子体离子注入制备SOI圆片
推荐文章
工业纯铁等离子体注入与氮化工艺及其性能研究
工业纯铁
等离子体浸没离子注入
脉冲宽度
摩擦磨损性能
耐腐蚀性
高压气体注入缓解等离子体破裂实验研究
等离子体
破裂缓解
涡流驱动
快速充气阀
利用等离子体注入枣树接穗的诱变技术初探
等离子
注入剂量
接穗
样品前处理
成活率
等离子体注入枣树接穗的诱变试验
等离子
注入
诱变
枣
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 等离子体离子注入制备SOI圆片 | ||
| 来源期刊 | 科学技术研究成果公报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | SOI圆片 等离子体离子注入 制备 硅基半导体材料 | ||
| 年，卷（期） | kxjsyjcggb,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 17 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TN304.12 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2003(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
SOI圆片
等离子体离子注入
制备
硅基半导体材料
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科学技术研究成果公报
主办单位：
中华人民共和国科学技术部
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-7076
CN：
11-2323/N
开本：
出版地：
北京市朝阳区安定门外小关街53号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
362
总下载数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
