CMOS集成二维风速和风向传感器的研制

• 作者: 张中平 张昭勇 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS集成传感器 二维风向和风速 EDP
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 340-342,347
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 2034字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.04.003

摘要

提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器,其芯片上集成有运算放大电路.它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成,其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝/多晶硅型热电堆所构成,加热电阻位于热敏感元件的中间.具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺,最后给出了试制的芯片和传感器的测量结果.