热薄膜温差型CMOS风速风向传感器的研究和实现

• 作者: 朱昊 秦明 程海洋 高冬晖
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS CTD 硅热流量风速风向传感器 温差型
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 486-489
• 页数: 4页
• 分类号: TN431.1|TP212.6
• 字数: 1648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.03.028

摘要

介绍了一种基于CMOS,能同时测量风速风向的硅集成传感器.通过保持芯片和环境温差恒定在设定值,测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差,利用二维结构同时获得风速风向信息.本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理,给出了具体结构和工艺,最后对样品进行了风洞测试,传感器能够测量风速0～23 m/s且360°方向敏感.