光学元件形貌的双波长干涉测量

• 作者: 曾理江 高亮
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双波长干涉 交叉条纹 三维形貌测量
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 所属期刊栏目: 信息的检测与处理
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 1419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z1.032

摘要

本文提出了一种利用双波长激光干涉产生交叉的干涉条纹测量光学元件三维面形的方法.该方法可以有效地提取干涉图像中更多的数据点,恢复被测元件的三维形貌.一定程度上解决了大口径光学元件三维形貌测量中数据点密度不足的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾理江	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	15	307	9.0	15.0
2	高亮	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	6	109	5.0	6.0