双波长集成光栅干涉微位移测量方法

• 作者: 伍康 冯金扬 叶雄英 陈烽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 集成光栅 双波长干涉法 扩量程
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2433-2438
• 分类号: TP212.9|TH82
• 字数: 2114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122011.2433

摘要

介绍了一种基于双波长激光的集成光栅干涉位移检测方法,利用该方法对硅-玻璃键合工艺制作的集成光栅位移敏感芯片进行了测试实验.实验系统主要由敏感芯片、波长为640 nm和660 nm的双波长半导体激光器、双光电二极管及检测电路组成,敏感芯片则由带反射面的可动部件和透明基底上的金属光栅组成.入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动部件与光栅之间的距离变化,通过分别测量两个波长的衍射光强信号并交替切换选取灵敏度较高的输出信号,实现了一定范围内的扩量程位移测量,并得到绝对位置.实验结果表明,利用双波长集成光栅干涉位移检测方法测得敏感芯片可动部件与基底光栅的初始间隙为7.522 μm,并实现了间隙从7.522 μm到6.904 μm区间的高灵敏度位移测量,其噪声等效位移为0.2 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶雄英	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	62	1070	15.0	31.0
2	伍康	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	8	28	3.0	5.0
3	陈烽	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	30	3.0	5.0
4	冯金扬	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	20	3.0	4.0