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半导体扩散炉
RBF神经网络
PID温度控制
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 多晶半导体电热涂层的温度控制
来源期刊 家电科技 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2003,(10) 所属期刊栏目 新材料信息与应用专题
研究方向 页码范围 48-49
页数 2页 分类号 TN3
字数 1227字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-0172.2003.10.025
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
家电科技
双月刊
1672-0172
11-4824/TM
大16开
北京市宣武区下斜街29号
2-129
1981
chi
出版文献量(篇)
9328
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11
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7982
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