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摘要:
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NF3在Mn/MgO和Cr/MgO上的分解反应
三氟化氮
脱氟剂
氧化镁
分解反应
溶胶凝胶法制备Al2O3及NF3分解反应
Al2O3
制备
溶胶凝胶法
NF3分解反应
色谱/质谱联用法测定NF3中微量CF4
色谱/质谱 选择离子监测 NF3 CF4
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 NF3需求旺盛,日本关东电化决定扩产
来源期刊 精细与专用化学品 学科
关键词
年,卷(期) 2003,(11) 所属期刊栏目 电子化学品
研究方向 页码范围 30-30
页数 1页 分类号
字数 1414字 语种 中文
DOI
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相关学者/机构
期刊影响力
精细与专用化学品
月刊
1008-1100
11-3237/TQ
大16开
北京市安外小关街53号
82-877
1986
chi
出版文献量(篇)
7403
总下载数(次)
24
总被引数(次)
20231
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