第一台多功能微纳米级表面特性摩擦显微仪

• 作者: 刘贤萍
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 关键词: 触针式扫描仪 表面性能检测 纳米摩擦 纳硬度
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 163-170
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.03.001

摘要

介绍了一台具有国际发明专利的新型仪器--多功能机械摩擦显微仪(TPM). TPM可用于检测微纳米级工程表面的机械和摩擦性能. 其特点是在一次扫描中可同时检测以下四项功能参数:表面轮廓、表面摩擦、表面纳硬度和表面弹性模量. 由于TPM基于点阵扫描, 因此所测得的四项参数在空间和时间上是相关的. TPM是一种可变力触针式扫描仪. 表面接触力由一个永久磁铁和线圈加力装置控制, 加力范围为0.01～30 mN. 扫描平台范围为100 μm×100 μm,该范围通过闭环控制具有纳米级精确度.表面轮廓的范围为20 μm并具有0.1 nm的分辨力. TPM 已经用于各种表面的性能测试中并取得了广泛的认可.TPM 在2001年获得了"Metrology for World Class Manufacturing Awards 2001".

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘贤萍		1	0	0.0	0.0