非接触纳米三维表面形貌测量

• 作者: 赛景波
• 来源期刊: 应用激光
• 关键词: 声光调制器 光电接收器 激光 光探针 纳米测量 数字鉴相
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 字数: 2595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2004.01.014

摘要

提出了一种基于激光的Raman-Nath衍射和光干涉进行纳米级测量的光机电一体化的新方法,分析了数字鉴相、A/D变换和X/Y驱动的特点,并对测量精度进行了扼要地分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赛景波	北京联合大学应用文理学院信息系	2	8	1.0	2.0