双折射晶体光学波前传感器

• 作者: 刘晓军 李柱 章明 高咏生
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 剪切干涉 波前传感器 双折射晶体
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: TH74|O43
• 字数: 1731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2004.07.025

摘要

提出一种新的剪切干涉光学波前传感器.利用剪切干涉原理和单轴晶体的双折射特性研制而成.其结构简单紧凑,实现完全共光路和偏振相移干涉,灵敏度可调,具有较强的抗干扰能力.论述了其工作原理,分析了其特性,给出了相应的数学模型.测试结果表明,该传感器的面形测量精度好于λ/60,重复性达到λ/100.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李柱	华中科技大学机械科学与工程学院	41	763	16.0	26.0
2	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
3	高咏生	香港科技大学机械工程系	21	297	11.0	17.0
4	章明	中原大学机械工程系	3	20	2.0	3.0