平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器

• 作者: 左玉华 王启明 蔡晓
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: Fabry-Perot滤波器 平顶响应 热光效应 起伏度
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1144-1148
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 3307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.10.003

摘要

制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器,通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两部分,并且使入射光照射到两部分的面积基本上相等,实现平顶响应特性.对该滤波器的输出响应进行检测,实验结果与理论模拟符合,相对透射率的极大值与极小值间的起伏度小于0.01.与实现平顶响应的其他方法相比,本滤波器器件的制作工艺简单,平顶性能优越,容易与其他有源和无源光子器件集成.还给出了制作几十μm量级的共振腔实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理,其输出响应的起伏度小于0.02,3 dB带宽小于1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	118	735	14.0	20.0
2	左玉华	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	18	70	6.0	7.0
3	蔡晓	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	4	22	3.0	4.0