Si基热光可调谐窄带平顶滤波器

• 作者: 左玉华 毛容伟 王启明 蔡晓
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平顶滤波器 热光调谐 Si基 窄带
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2218-2222
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 2958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.11.032

摘要

利用Si基键合技术、台阶型F-P腔结构以及Si良好的热光效应,研制了一种新型全Si基的热光调谐窄带平顶滤波器.器件的平顶宽度为2nm,3dB带宽为4.4nm,自由谱宽约为8.5nm,在外加电场作用下,共振峰红移3.3nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	118	735	14.0	20.0
2	左玉华	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	18	70	6.0	7.0
3	蔡晓	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	4	22	3.0	4.0
4	毛容伟	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	8	32	4.0	5.0