热光Si共振腔型可调谐滤波器

• 作者: 余金中 左玉华 成步文 李传波 毛容伟 王启明 黄昌俊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Fabry-Perot可调谐滤波器 热光效应 Si基光电子
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1312-1317
• 页数: 6页
• 分类号: TN713
• 字数: 4846字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.12.017

摘要

报道了利用Si基键合技术和化学机械抛光工艺制作的垂直结构的Fabry-Perot可调谐滤波器,调谐机理为pn结正向注入电流引起的热光效应.调谐范围可达23nm,响应时间约为300μs,并给出了获得更快响应和更低能耗的热光和电注入可调谐滤波器件结构改进方案.