智能型纳米级超精密抛光机的研究

• 作者: 袁巨龙 赵萍
• 来源期刊: 纳米科技
• 关键词: 抛光 修正环 专家数据库 纳米 智能
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 语种: 中文

摘要

研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光.文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1 nm以下,并获得表面粗糙度小于0.2 nm的平面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵萍	浙江工业大学职教学院	28	179	7.0	12.0
2	袁巨龙	浙江工业大学机电学院	116	1467	19.0	35.0