IC硅片纳米级抛光机专家控制技术的研究

• 作者: 戴勇 文东辉 袁巨龙 赵文宏
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密抛光 专家控制 嵌入式处理器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 90-92
• 页数: 3页
• 分类号: TG58
• 字数: 2969字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2006.05.025

摘要

本文介绍了自行设计的智能型纳米级抛光机的智能控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了智能控制系统的组成,提出并建立了基于专家控制系统的解决方案.采用Windows CE软件平台,图形化界面功能指示,以及采用高可靠性的实时操作系统、超级数模混合RISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电机驱动等技术,试验结果表明可以实现对抛光机的智能控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵文宏	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	35	279	9.0	15.0
5	戴勇	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	22	436	7.0	20.0
9	文东辉	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	58	714	12.0	25.0